이 분야의 주요 핵심 기업에는 1위 ASML, 2위 Nikon, 3위 Canon 등이 있습니다.
또한 ASML은(는) 공개 특허수(3,969건), 등록 특허수(3,402건), 공개 특허수 점유율(점유율_공개)(22.5%), 집중률(56.9%), 매입 특허수(219건), 소송 특허수(3건), 심판 특허수(2건), 해외 특허 패밀리수(해외 Fam.)(14,103개), Nikon은 심사관 피인용수(8,341회), 심사관 피인용수 점유율(점유율_FC-E)(24.5%)에서 1위 입니다. Carl Zeiss SMT은(는) 집중률(55.5%), 소송 특허수(3건), Global Foundries는 매입 특허수(129건)에서 2위 입니다. Canon은 공개 특허수(1,754건), 등록 특허수(1,541건), 공개 특허수 점유율(점유율_공개)(9.93%), 심사관 피인용수(5,484회), 심사관 피인용수 점유율(점유율_FC-E)(16.1%)에서 3위 입니다. KLA-Tencor은 집중률(8.93%), Applied Materials는 매입 특허수(32건), TSMC (Taiwan Semiconductor Manufacturing Company)은(는) 소송 특허수(1건)에서 4위 입니다.
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